초정밀 스캐닝 스테이지를 위한 고분해능, 대변위의 MEMS 용량형 변위센서

  • Kim, Il-Hwan ;
  • Kim, Hyeon-Cheol ;
  • Jeon, Guk-Jin
  • 김일환 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 김현철 (서울대학교 전기컴퓨터공학부) ;
  • 전국진 (서울대학교 전기컴퓨터공학부)
  • Published : 2006.06.21

Abstract

본 논문에서는 MEMS 용량형 변위 센서의 제작과 함께, 미세 변위 측정을 위한 테스트 샘플을 제작하였다. 아래의 그림 1, 2는 각각 스테이지에 장착할 MEMS 용량형 변위 센서 및 미세 변위 측정을 위한 테스트 샘플의 개념도를 보여주고 있다. 테스트 샘플의 감지 부분은 스테이지에 장착할 센서와 정확히 일치를 시켰으며, 미세 변위를 주기 위해서 comb-drive actuator 형태의 운동부를 두었다. 운동부에서는 DC 및 AC 전압을 인가함으로써 미세 변위를 얻을 수 있었으며, 사용된 DC 전압은 20V였으며, 1.4kHz의 AC 전압을 크기를 변화시키며 인가하였다.

Keywords