Patterning Line Type Oxide Nanostructures using Atomic Force Microscope(AFM) Lithography

Atomic Force Microscope Lithography를 이용한 선타입 옥사이드 구조물 패터닝

  • 김철웅 (고려대학교/(주)트리플씨메디칼) ;
  • 김태영 ((주)트리플씨메디칼 R&D Center)
  • Published : 2009.10.26

Abstract