Atomic Force Microscope (AFM) Lithography : Influence of the Anodic Voltage Waveform on the Formation of Oxide Nanodots

원자현미경 리소그래피 : 양극전압 파형이 옥사이드 성장에 미치는 영향

  • 김철웅 (고려대학교/(주)트리플씨메디칼) ;
  • 김태영 ((주)트리플씨메디칼 R&D Center)
  • Published : 2009.10.26

Abstract