Research of R2F Process for the sub-micron Pattern Formation based on Metal thin Foil Substrate

금속박판 소재 기반 초미세 패턴구조 R2F 성형공정 연구

  • 송정한 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이태진 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이혜진 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이낙규 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 이근안 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부) ;
  • 전해용 (한국생산기술연구원 융복합기술연구본부)
  • Published : 2009.06.03

Abstract