Fabrication and Temperature Measurement of Bimorph Thermal Microactuator using SU-8 Photoresist

SU-8 포토레지스트를 이용한 Bimorph Thermal Microactuator의 제작 및 온도 측정

  • 배윤기 (서울과학기술대학교 산업대학원 메카트로닉스공학과) ;
  • 조영학 (서울과학기술대학교 산업대학원 메카트로닉스공학과) ;
  • 황지홍 (서울과학기술대학교 제품설계금형공학과) ;
  • 김성동 (서울과학기술대학교 기계설계자동화공학부) ;
  • 김명제 (서울과학기술대학교 제품설계금형공학과)
  • Published : 2010.11.11

Abstract