Fabrication of EHD(Electrohydrodynamic) nozzle using surface hydrophobic coating and SU-8 photoresist

SU-8 포토레지스트와 표면 소수처리를 이용한 전기 수력학 노즐 제작

  • Published : 2011.07.20

Abstract

SU-8 감광제를 이용하여 전기 수력학에 응용할 수 있는 내경 $50{\mu}m$인 평면형 노즐 구조와 외경 $100{\mu}m$, 내경 $50{\mu}m$인 돌출형 노즐 구조를 제작하고 노즐 표면에 불소계 수지를 건식 증착하여 소수 처리를 하였으며 이를 통해 전기수력학 방식의 잉크 토출을 구현하였다.

Keywords

Acknowledgement

Grant : 나노전자부품용 다이렉트 나노패터닝 시스템 개발