RF Magnetron Sputtering에 의한 금속간화합물 TiAI 모재위의 AI-21Ti-23Cr 고온내산화코팅

Preparation of AI-21Ti-23Cr High Temperature Protective Coating for TiAo Intermatallic Compounds by RF Magnetron Sputtering

  • 박상욱 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 박정용 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이호년 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 오명훈 (금오공과대학교 재료공학과) ;
  • 위당문 (한국과학기술원 재료공학과)
  • 발행 : 1996.07.01

초록

Ti-48AI(at.%) 모재위에 RF magnetron sputtering을 이용하여 AI-21Ti-23Cr(at.%) 조성의 박막을 코팅하였다. RF power 200W, 증착압력 0.8Pa, 증착온도 573k에서 증착된 시편의 가장 우수한 고온재산화성을 나타내었다. 573K에서 증착된 AI-21Ti-23Cr 코팅층은 증착시에는 비정질을 형성하나 산화시험동안 결정화가 진행되며, 표면에는 치밀한 ${Al}_{2}{O}_{3}$층이 형성되었다. 573K에서 코팅된 시편에 대하여 1073K, 1173K 및 1273K에서 100시간동안 등온산화시험을 실시하였다. 무게증량곡선은 모든 온도에서 parabolic law를 따르는 안정된 산화거동을 보였으며 이와같은 산화특성은 표면에 치밀한 ${Al}_{2}{O}_{3}$층이 형성되었기 때문인 것으로 판단된다. 1273K에서 산화시험 후 코팅층의 기지는 고온산화에 따른 AI원자의 소모와 모재로부터의 Ti원자의 확산에 의해 TiAICr상을 형성하였으며, 무게증량은 낮은 온도에 비해 다소 크게 증가하는 경향을 나타내었다.

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참고문헌

  1. Scripta Metall. Mater. v.33 T. G. Nieh;J. N. Wang
  2. Scripta Metall v.23 H. Mabuchi;T. Asai;Y. Nakayama
  3. J. Japan Inst. Metals v.57 S. Taniguchi;N. Asanuma;T. Shibata;F. Wang;H. Lou;W. Wu
  4. Gamma Titanium Aluminides J. Y. Park;M. H. Oh;D. M. Wee;S. Miura;S. Mishima;Y. W. Kim(ed.);R. Wagner(ed.);M. Yamaguchi(ed.)
  5. Structural Intermetallics G. H. Meier;N. Birks;F. S. Pettit;H. J. Grabke;R. Darolia(ed.);J. J. Lewandowski(ed.);C. T. Liu(ed,);P. L. Martin(ed.);D. B. Miracle(ed.);M. V. Nathal(ed.)
  6. High-Temperature Ordered Intermetallic Alloys Ⅳ M. Yoshihara;R. Tanaka;T. Suzuki;M. Shimizu;L. A. Johnson(ed.);D. P. Pope(ed.);J. O. Stiegler(ed.)
  7. Oxid. Met. v.38 S. Becker;A. Rahmel;M. Schorr;M. Schutze
  8. Structural Intermetallics S. A. Kekare;D. K. Shelton;P. B. Aswath;R. Darolia(ed.);J. J. Lewandowski(ed.);C. T. Liu(ed.);P. L. Martin(ed.);D. B. Miracle(ed.);M. V. Nathal(ed.)
  9. Mater. Sci. Eng. v.A153 K. Maki;M. Shioda;M. Sayashi
  10. Oxid. Met. v.24 S. C. Kung
  11. High Temperature Aluminides & Intermetallics Y. M. Kim;F. H. Froes;S. H. Huang(ed.);C. T. Liu(ed.);D. P. Pope(ed.);J. O. Stiegler(ed.)
  12. ISIJ International v.33 S. Taniguchi;T. Shibata;T. Yamada;X. Liu;S. Zou
  13. Scripta Metall. Mater. v.25 L. J. Parfitt;J. L. Smialek;J. P. Nic;D. E. Mikkola
  14. Oxid. Met. v.42 S. Taniguchi;T. Shibata;A. Murakami;K. Chihara
  15. Oxid. Met. v.39 S. Taniguchi;T. Shibata;N. Asanuma;H. Lou;F. Wang;W. Wu
  16. High-Temperature Ordered Intermetallic Alloys Ⅵ J. L. Smialek;J. A. Nesbit;W. J. Brindley;M. P. Brady;J. Doychak;R. M. Dickerson;D. R. Hull;J. Horton(ed.);I. Baker(ed.);S. Hanada(ed.);R. D. Noebe(ed.);D. S. Schwartz(ed.)
  17. Mater. Trans. JIM v.35 Y. Shida;H. Anada
  18. 한국재료학회지 v.4 박정용;오명훈;위당문;三浦誠司;三島良直
  19. JOM v.43 Y. W. Kim;D. M. Dimiduk
  20. High-Temperature Ordered Intermetallic Alloys Ⅵ M. P. Brady;J. L. Smialek;D. L. Humphrey;J. Horton(ed.);I. Baker(ed.)S. Hanada(ed.);R. D. Noebe(ed.);D. S. Schwartz(ed.)
  21. Scripta Metall. Mater. v.33 B. G. Kim;G. M. Kim;C. J. Kim
  22. Scripta Metall. Mater. v.25 K. Hirukawa;H. Mabuchi;Y. Nakayama
  23. Mater. Trans. JIM v.32 S. Taniguchi;T. Shibata;K. Takeuchi
  24. Mater. Trans. JIM v.36 H. Anada;Y. Shida