Numerical calculation of contrast transfer function for periodic line-space patterns

주기적인 선물체에 대한 Contrast Transfer Function의 수치계산

  • 김형수 (청주대학교 광학공학과) ;
  • 전영세 (청주대학교 광학공학과) ;
  • 이종웅 (청주대학교 광학공학과) ;
  • 김성호 (한국원자력연구소 양자광학연구실)
  • Published : 1998.12.01

Abstract

The measurement of OTF(optical transfer function) is used for evalution of imaging performance of optical system as a standard method. In the mass-production, the contrast measurement of projected patterns is also popular because of its simplicity. In this study, a computer program which evaluates the CTF(contrast transfer function) of optical system for periodic line-space patterns is developed by using the diffraction imaging theory. The MTF(modulation transfer function) and CTF of an aberrated system are evaluated and analyzed for the third order aberrations expressed by the C-coefficients and the Zemike polynomials.

Keywords

References

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