길이변조용 압전소자의 휨 측정과 보정

Characterization and correction of bemding deformation in pizeoelectric ceramics displacement

  • 김재완 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 남승희 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹) ;
  • 한재원 (한국표준과학연구원 레이저계측그룹)
  • 발행 : 2001.08.01

초록

압전소자에 전압을 가했을 때 길이가 늘어나며 휘어지는 것을 측정하고 보정하는 방법을 제시한다. 압전소자에 부착된 거울에서 반사되는 레이저빔의 각도 변화를 $0.36\mu$rad의 불확도로 측정하여 압전소자가 휘는 각도와 방향을 알수 있는 장치를 구성하였다. 압전소자의 전극을 세부분을 분할하고 축전기를 직렬 연결하여 하나의 전원으로도 각 전극에 인가되는 전압을 달리 조절할 수 있었다. 압전소자가 휘어지는 크기와 방향에 따라 각 전극에 연결되는 축전기의 용량을 달리함으로써 보정 전에 비해 휨을 6.3%로 줄일수 있었다. 휨이 보정된 압전소를 광자감쇠공동의 길이 변조에 이용하였을 때 압전소자가 휘기 때문에 야기되었던 감쇠시간 요동이 효과적으로 제거되는 것을 확인하였다.

키워드

참고문헌

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  4. 한국광학회지 v.10 no.3 연속발진 레이저를 이용한 광자감쇠 분광기의 오차요인 분석 김재완;이재용;한재원;유용심;공홍진;이해웅
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