• Title, Summary, Keyword: 공정모니터링시스템

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A Study on the Realtime Monitoring System of the WAFER PROCESS (WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구)

  • Kim, Hyo-Nam
    • Proceedings of the Korean Society of Computer Information Conference
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    • pp.297-298
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    • 2015
  • 반도체 제조 및 FPD제조 공정 중 WAFER 및 GLASS 제품의 상태를 직접적으로 관리하는 기술로서 기존에 널리 사용하고 있는 방법은 CHAMBER의 온도나 상태 등의 설비 컨디션 상태를 관리 모니터링 하는 것이다. 반도체 제조의 공정비용을 최소화하기 위하여 기존 방법과 달리 WAFER 및 GLASS의 온도 상태 등을 직접적으로 모니터링 하는 시스템으로 반도체 FPD제조 공정 중 장비의 개별 특성에 따라 제품의 공정 편차로 인해 발생되는 공정불량을 실시간으로 모니터링함으로서 불량을 최소화 할 수 있는 시스템을 제안한다.

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A Semiconductor Etching Process Monitoring System Development using OES Sensor (OES 센서를 이용한 반도체 식각 공정 모니터링 시스템 개발)

  • Kim, Sang-Chul
    • Journal of the Korea Society of Computer and Information
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    • v.18 no.3
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    • pp.107-118
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    • 2013
  • In this paper, we developed the semiconductor monitoring system for the etching process. Around the world, expert companies are competing fiercely since the semiconductor industry is a leading value-added industry that produces the essential components of electronic products. As a result, many researches have been conducted in order to improve the quality, productivity, and characteristics of semiconductor products. Process monitoring techniques has an important role to give an equivalent quality and productivity to produce semiconductor. In fact, since the etching process to form a semiconductor circuit causes great damage to the semiconductors, it is very necessary to develop a system for monitoring the process. The proposed monitoring system is mainly focused on the dry etching process using plasma and it provides the detailed observation, analysis and feedback to managers. It has the functionality of setting scenarios to match the process control automatically. In addition, it maximizes the efficiency of process automation. The result can be immediately reflected to the system since it performs real-time monitoring. UI (User Interface) provides managers with diagnosis of the current state in the process. The monitoring system has diverse functionalities to control the process according to the scenario written in advance, to stop the process efficiently and finally to increase production efficiency.

Oxygen Real-time Monitoring System using RGB Sensor toward PCB Manufacturing (PCB 제조공정을 위한 RGB 센서의 실시간 모니터링 시스템)

  • Anh, Jong-Hwan;Lee, Seok-Soon;Kim, Yi-Cheol;Hong, Sang-Jin;Soh, Dea-Wha
    • Journal of the Speleological Society of Korea
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    • no.79
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    • pp.73-75
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    • 2007
  • 과거 PCB 제조의 주된 화제는 다양한 산업분야의 발전을 위해 한정된 시간 안에 좀 더 많은 PCB를 양산하는 기술 개발에 집중되어 있었지만, 현재는 비정상적인 공정 상태를 파악함으로써 제조 공정 환경에서의 오류를 줄여 전체 수율을 높이는 방법에 시선을 돌리고 있다. PCB 에칭의 경우 에칭 용액의 상태를 실시간으로 모니터링 하는 것이 중요하다. 본 논문에서는 기존 애칭용액의 상태를 판단할 때 사용되는 ORP센서 대신, RGB센서를 이용하여 실시간으로 용액의 상태를 모니터링 할 수 있는 시스템을 개발하였다. 개발된 시스템을 이용하여, 기존 ORP시스템과의 비교 분석을 및 RGB 센서를 이용한 모니터링 방법이 ORP센서를 이용한 방법 보다 좀 더 쉽고 정확하게 에칭 액의 상태를 모니터링 할 수 있다는 것을 확인하였다.

Monitoring System Construction of Bricks Manufacture Process Using RFID (RFID를 이용한 벽돌제조 공정 모니터링 시스템 설계)

  • Kim, Gui-Jug
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • pp.447-450
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    • 2006
  • 본 연구는 국내에서 발생되는 소각재를 재활용하여 벽돌 생산을 하는 공장에서의 이원화된 작업현황을 일원화 할 수 있는 데이터 모니터링 시스템 구축을 목적으로 한다. 이를 위하여 RFID 센싱 기술을 생산 공정에 도입하여 공정관리 시스템을 획기적으로 개선할 수 있도록 하였다. 각종 계측기 및 센서의 신호를 데이터 수집 장치인 IDMC-Net8842를 이용하여 실시간으로 수집하고 유/무선 통신 모듈을 이용한 TCP/IP 연결을 통하여 모니터링 서버에 접속하여 실시간으로 현장의 상황을 확인하여 제어할 수 있는 시스템을 구축하고자 한다.

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Real- Time Co etchant condiction monitoring system in RGB sensor (PCB 제조공정을 위한 습식 구리 에칭 용액의 실시간 모니터링 시스템)

  • An, Jong-Hwan;Lee, Seok-Jun;Kim, Lee-Chul;Hong, Sang-Jeen
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • pp.548-549
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    • 2007
  • 과거 PCB 제조의 주된 화제는 다양한 산업분야의 발전을 위해 한정된 시간 안에 좀 더 많은 PCB를 양산하는 기술 개발에 집중되어 있었지만, 현재는 비정상적인 공정 상태를 파악함으로써 제조 공정 환경에서의 오류를 줄여 전체 수률을 높이는 방법에 시선을 돌리고 있다. PCB 에칭의 경우 에칭 용액의 상태를 실시간으로 모니터링 하는 것이 중요하다. 본 논문에서는 기존 애칭용액의 상태를 판단할 때 사용되는 ORP 센서 대신, RGB 센서를 이용하여 실시간으로 용액의 상태를 모니터링 할 수 있는 시스템을 개발 하였다. 개발된 시스템을 이용하여 기존 ORP 시스템과의 비교 분석을 및 RGB 센서률 이용한 모니터링 방법이 ORP 센서를 이용한 방법 보다 좀 더 쉽고 정확하게 에칭 액의 상태를 모니터링할 수 있다는 것을 확인 하였다.

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Comparative Analysis of Injection Molding Process by On-line Monitoring in Cylinder of Injection Molding Machine and in Cavity of Mold (사출성형기 실린더와 금형 캐비티의 실시간 모니터링을 이용한 사출성형공정 비교 분석)

  • Park, Hyung-Pi;Cha, Baeg-Soon;Tae, Jun-Sung;Choi, Jae-Hyuk;Rhee, Byung-Ohk
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.34 no.10
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    • pp.1513-1519
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    • 2010
  • Recently, on-line process monitoring systems using sensors are being extensively used to produce highquality products. However, the difficulty in installing the sensors within the mold in the cases of micro-molds, optical molds, and molds with complex structures is a serious disadvantage of such process monitoring systems. In this study, the quantitative index of a process monitoring system was evaluated with the mold cavity pressure and the nozzle pressure for the injection molding machine. In order to evaluate the effect of the nozzle pressure, we performed correlation analysis for the weight of the molded product. We also examined the control characteristics of the injection molding machine by analyzing the effect of multistage injection speed, holding pressure, and injection pressure limit on the process monitoring data.

Design and Construction of Data Monitoring System for Stable Cinder Reuse (안정적인 소각재 재활용을 위한 데이터 모니터링 시스템 설계 및 구축)

  • Kim, Gui-Jung;Han, Jung-Soo
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.8 no.5
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    • pp.1082-1086
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    • 2007
  • This research has a purpose of constructing the data monitoring system that makes two-tier work state in the brick production factory to unification by reusing cinder. Monitoring system automatically manages data by using data managing processes such as a state managing process, a location managing process, a badness managing process, a circumstances managing process. In this research, the data management monitoring system manufactures state information of each processes received from RFID and transmits them to data monitoring system. Analyzed data through this system reuses the cinder, so it can effectively manage the production process of the factory which produces bricks through processing automation, faulty-ratio minimization, real-time monitoring and loading managing.

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Ubiquitous Based Monitoring System for Efficient Data Management (효율적인 데이터관리를 위한 유비쿼터스 기반 모니터링 시스템)

  • Kim, Gui-Jung
    • Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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    • pp.516-519
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    • 2006
  • In this paper, we designed data monitoring system using RFID for efficient data management of cinder reuse process, and for construction of unified system utilizing exact data. We constructed database, thesarus retrieval model to manage this database, and designed RFID model for monitoring system. The construction of data monitoring system for stable cinder reuse is the efficient method to develop realtime and automatic process.

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An Operating Methodology of SPC System in LCD Industries (LCD 산업에서 SPC 시스템의 운영방법론)

  • Nam, Ho-Soo;Lee, Hyun-Woo;Choi, B.W.
    • Proceedings of the Korean Operations and Management Science Society Conference
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    • pp.387-392
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    • 2005
  • 본 논문에서는 LCD 공정관리에서 SPC 시스템의 주요내용 및 운영방법론을 논하고자 한다. 주요내용으로는 실시간 프로세스 모니터링 방법론, 유의차분석 방법론, 이상데이터의 분석, 공정능력의 분석, 관리도 및 결과의 조회 등을 들 수 있다. 또한, TFT-LCD 공정을 크게 Fab 공정인 TFT 공정, LC 공정 및 Module 공정으로 나누어 각 공정에서의 중요한 특성과 관리방법론을 제시하고자 한다.

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Agent-Based RFID Model Design for Cinder Reuse (소각재 재활용을 위한 에이전트 기반 RFID 모델 설계)

  • Kim, Gui-Jug
    • Proceedings of the Korea Information Processing Society Conference
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    • pp.201-204
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    • 2007
  • 본 논문은 소각재 재활용 모니터링 시스템 구현을 위한 에이전트 기반의 RFID 모델을 설계한다. RFID를 이용한 모니터링 시스템은 상태관리 에이전트, 위치관리 에이전트, 불량관리 에이전트, 상황관리 에이전트 등의 데이터 관리 에이전트를 이용해 데이터를 자동 관리하고, 대용량의 데이터를 처리하기 위해 대용량 데이터 처리 에이전트를 이용한다. 안정적인 소각재 재활용을 위한 에이전트 기반 데이터 모니터링 시스템의 개발은 산업체 전반에 걸쳐있는 기계화, 수작업화 된 공정을 실시간 자동화 공정으로 개발하는 획기적인 방법이 될 것이다.

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