• Title, Summary, Keyword: 동 박막

Search Result 136, Processing Time 0.033 seconds

분자동역학 전산모사를 이용한 탄소박막의 구조해석

  • 이승협;이승철;이광렬
    • Journal of the KSME
    • /
    • v.44 no.3
    • /
    • pp.70-78
    • /
    • 2004
  • 이 글에서는 MD 전산모사를 통해 합성거동의 원자규모 해석, 계면에서의 원자혼합 거동, 박막 구조의 원자규모 분석 및 박막 물성과의 관계규명이 가능함을 소개하고, 또한, 탄소에 관한 Tersoft 포텐셜 함수의 한계로부터 포텐셜 함수의 개선이 필요함을 보여준다.

  • PDF

Coherent x-ray scattering to study dynamics in thin films (결맞는 X-선 산란을 이용한 박막의 표면 거동 연구)

  • Kim, Hyun-Jung
    • Journal of the Korean Vacuum Society
    • /
    • v.14 no.3
    • /
    • pp.143-146
    • /
    • 2005
  • A new method of x-ray photon correlation spectroscopy (XPCS) using coherent x-rays is developed recently for probing the dynamics of surface height fluctuations as a function of lateral length scale. This emerging technique applies the principles of dynamic light scattering in the x-ray regime. The short wavelength and slow time scales characteristic of XPCS extend the phase space accessible to scattering studies beyond some restrictions by light and neutron. In this paper, we demonstrate XPCS to study the dynamics of surface fluctuations in thin supported polymer films. We present experimental verification of the theoretical predictions for the wave vector and temperature dependence of the capillary wave relaxation times for the supported polymer films at melt for the film thicknesses thicker than 4 times of the radius of gyration of polymer. We observed a deviation from the conventional capillary wave predictions in thinner films. The analysis will be discussed in terms of surface tension, viscosity and effective interactions with the substrate.

RF Magnetron Sputtering 및 Evaporation을 이용하여 증착한 CdTe 박막의 물성평가

  • Kim, Min-Je;Jo, Sang-Hyeon;Song, Pung-Geun
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
    • /
    • /
    • pp.345-345
    • /
    • 2012
  • 최근 의료산업에서는 고해상도 및 동영상 구현이 가능한 직접 방식의 X-선 검측센서에서 X-ray 흡수효율이 좋은 반도체 센서(CdTe, CdZnTe 등)와 성숙된 기술, 집적효율이 뛰어난 CMOS 공정을 이용한 제품을 출시하여 대면적화 및 고집적화가 가능하게 되어 응용분야가 점차 확대되고 있는 추세이다. 하지만 이 역시 고 성능의 X-선 동영상 구현을 위해서는 고 해상도 문제, 검출효율 문제, 대면적화의 어려움이 있다. 기존의 X-선 광 도전층의 증착은 증착 속도와 박막 품질에서 우수한 Evaporation 법이 사용되고 있다. 한편, 대면적에 균일한 박막형성이 가능하기 때문에 양산성에서 우월성을 가지는 sputtering법의 경우, 밀도가 높은 소결체 타겟의 제조가 힘들뿐만 아니라 증착 속도가 낮아 장시간 증착 시 낮은 소결밀도로 인한 타겟 Particle 영향으로 인해서 대 면적에 고품질의 박막을 형성하기가 어렵다. 하지만 최근 소결체 타겟 제조기술 발달과 함께, 대면적화와 장시간 증착에 대한 어려움이 해결되고 있어 sputtering 법을 이용한 고품질 박막 제조 기술의 연구가 시급한 실정이다. 본 연구에서는 $50{\times}50$ mm 크기의 non-alkali 유리기판(Corning E2000) 위에 Evaporation과 RF magnetron sputtering을 사용하여 다양한 기판온도 (RT, 100, 200, 300, $350^{\circ}C$)에서 $1{\mu}m$의 두께로 CdTe 박막을 증착하였다. RF magnetron sputtering의 경우 CdTe 단일 타겟(50:50 at%)을 사용하였으며 Base pressure는 약 $5{\times}10^{-6}$ Torr 이하까지 배기하였고, Working pressure는 약 $7.5{\times}10^{-3}$ Torr에서 증착하였다. 시편과 기판 사이의 거리는 70 mm이며 RF 파워는 150 W로 유지하였다. CdTe 박막의 미세구조는 X-ray diffraction (XRD, BRUKER GADDS) 및 Field Emission Scanning Electron Microscopy (FE-SEM, Hitachi)를 사용하여 측정하였다. 또한, 조건별 박막의 조성은 Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS, Horiba, 7395-H)을 사용하여 평가하였다. X-선 동영상 장치의 구현을 위해서는 CdTe 다결정 박막의 높은 흡수효율, 전하수집효율 및 SNR (Signal to Noise Ratio) 등의 물성이 요구된다. 이러한 물성을 나타내기 위해서는 CdTe 박막의 높은 결정성이 중요하다. Evaporation과 RF magnetron sputtering로 제작된 CdTe 박막은 공정 온도가 증가함에 따라 기판상에 도달하는 스퍼터 원자의 에너지 증가로 인해서 결정립이 성장한 것을 확인할 수 있었다. 따라서 CdTe 박막이 직접변환방식 고감도 X-ray 검출기 광도 전층 역할을 수행할 수 있을 것으로 기대된다.

  • PDF

Characterization of OLED devices using IZO and IZTO films deposited by DC magnetron sputtering (DC 마그네트론 스퍼터링법에 의해 증착된 IZO 및 IZTO 박막을 사용한 OLED 소자의 특성)

  • Kim, Se-Il;Jeong, Tae-Dong;Song, Pung-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • /
    • pp.197-197
    • /
    • 2009
  • Indium tin oxide (ITO), Indium zinc oxide (IZO) 박막은 DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용하여 유리기판 위에 증착되었으며, Indium-zinc-tin oxide (IZTO) 박막은 두 개의 캐소드(DC, RF)를 사용한 마그네트론 이원동시방전 시스템에 의해 증착되었다. 모든 박막은 상온 증착 후 $200^{\circ}C$에서 후열처리 되었으며, IZO에 Sn이 소량 첨가됨에 따라 IZO보다 더 낮은 비저항을 갖는 것을 확인할 수 있었다.

  • PDF

Measurement of Tensile Properties of Copper foil using ESPI technique (ESPI 기법을 이용한 동 박막의 인장 특성 측정)

  • 권동일;허용학;김동진;박준협;기창두
    • Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
    • /
    • /
    • pp.1059-1062
    • /
    • 2003
  • Micro-tensile testing system has been developed and micro-tensile tests for copper foil have been carried out. The system consisted of a micro tensile loading system and a micro-ESPI system for measuring strain. The loading system has a maximum loading capacity of 50N and a stroke resolution of 4.5nm. Stress-strain curves for the electro-deposited copper foil with the thickness of 18$\mu\textrm{m}$ were obtained, and tensile properties, including elastic modulus, yielding strength and tensile strength, were determined. The tensile properties obtained under three different conditions of testing speed showed a dependency on the speed.

  • PDF

Characteristics of High Temperature Durability Amorphous Yb-doped ITO Films Deposited on Polyimide Substrate (PI 기판위에 증착한 고온 내구성 비정질 Yb-doped ITO 박막의 특성)

  • Jeong, Tae-Dong;Kim, Se-Il;Song, Pung-Geun
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
    • /
    • /
    • pp.174-174
    • /
    • 2009
  • 다양한 ITO타겟(doped Yb: 0, 0.57, 3.2 and 7.75at%)을 사용하여, DC 마그네트론 스퍼터링에 의해 폴리이미드 기판위에 증착한 ITO:Yb박막의 구조적, 전기적, 기계적 특성을 연구하였다. 증착된 박막내의 Yb 함량이 증가됨에 따라, 박막의 결정성이 감소되고, 표면조도와 기계적 성질이 향상됨을 확인 할 수 있었다. 비정질구조를 가지는 박막 중, Yb-doped 3.2at% ITO타겟으로 증착하고, $170^{\circ}C$에서 어닐링처리 하였을 때, 가장 낮은 비저항 $4.672{\times}10^{-4}{\Omega}cm$을 나타내었다. ITO:Yb 박막의 전기적 특성은 Hall 효과 측정장비, 박막의 결정구조는 X-선 회절 (XRD), 표면조도는 AFM 장비를 사용하여 측정하였다.

  • PDF

A study of surface stress effects on equilibrium states of thin nanofilm (나노박막의 표면응력에 의한 평형상태에 대한 연구)

  • Kim, Won-Bae;Cho, Maeng-Hyo
    • Proceedings of the Computational Structural Engineering Institute Conference
    • /
    • /
    • pp.34-37
    • /
    • 2009
  • 본 논문에서는 원자적 계산(atomistic calculation)을 이용한 나노박막의 평형상태(self-equilibrium state)에 대한 해석기법을 제시한다. 두께가 얇은 나노박막은 표면 응력(surface stress)에 의한 영향으로 원자간 거리가 벌크상태의 거리보다 작아진다. 두께가 얇은 나노박막에서의 원자 사이의 거리는 표면 응력과 탄성계수들의 표현식으로 계산이 가능하며, 본 논문에서는 {100}, {111}, {110} 표면을 가지는 나노박막의 평형상태의 해석을 위한 해석적 방법을 제시한다. 원자 사이의 거리를 계산하기 위해서는 보다 정확한 표면 응력의 계산방법이 필요하다. 본 연구에서는 나노박막의 평형상태에 대한 해석을 위해 surface relaxation model을 제시하고, 이 모델을 이용하여 표면응력(surface stress)과 표면강성계수(surface stiffness tensor)와 같은 surface parameter의 계산을 수행한다. 본 논문에서 제시된 surface relaxation model을 검증하기 위하여 분자동역학 전산모사(molecular dynamics simulation)의 수치 결과를 제시하고, 본 연구에서 계산한 equilibrium strain과 비교 검증한다.

  • PDF

A study on the dynamic properties of piezoelectric ultrasonic linear motor (초음파 선형 모터의 동특성 향상에 관한 연구)

  • Ko, Hyun-Phill;Yoo, Kyoung-Ho;Kang, Chong-Yun;Kim, Sang-Sig;Yoon, Seok-Jin
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
    • /
    • /
    • pp.757-760
    • /
    • 2004
  • Shaking beam을 이용한 초음파 선형모터는 모터 구동부에서 발생하는 타원궤적이 선형 slider 와 마찰이 되어 선형운동을 발생시킨다. 이러한 초음파 선형모터에서 설계변수는 모터의 효율과 추력(thrust force) 등 동특성을 결정한다. 특히 초음파 모터 동작부의 tip 과 선형 slider 의 contact point와 압착은 모터의 속도, 추력 동작 주파수, 효율에 직접적인 영향을 주는 중요한 parameter 로 작용된다. 본 연구에서는 모터와 선형 slider 의 압착과 contact point둥의 설계변수가 초음파 선형 모터의 성능에 주는 영향을 고찰하였다. 모터으구동부와 선형 slider 사이의 압착력 ($10N{\sim}50N$)과 4가지 곡률을 갖는 tip을 설계변수로 취하였다. Tip 의 형태에 따른 곡률과 모터 구동부와 선형 slider 사이의 압착력 변화에 따른 모터의 동작특성이 변화되는 것을 확인할 수 있었다.

  • PDF