• Title, Summary, Keyword: 막재료

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Development of Membrane material for Stratospheric Airship (성층권 비행선용 막재료 개발)

  • Kang, Wang-Gu;Woo, Kyeong-Sik;Lee, Han-Geol;Kim, Dong-Min;Yeom, Chan-Hong;Lee, In;Hong, Eu-Seok
    • Proceedings of the Korean Society For Composite Materials Conference
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    • pp.221-225
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    • 2005
  • 성층권 비행선 기낭용 막재료를 개발하였다. 성층권 비행선을 구현하기 위한 초경량/고강도의 막재료를 설계 개발하였다. 요구조건을 만족시키기 위하여 벡트란, 테들라 등의 최신 고분자 화합물을 적층한 막재를 개발하였다. 개발된 막재료에 대한 유한요소 미세구조 모델링을 수행하고, 물성치를 예측하였다. 막재료에 대한 물성시험을 수행하였다. 단위 시편에 대한 강도-강성 시험을 수행하였으며, 이를 유한요소 예측치와 비교하였다.

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Development of $\textrm{SiN}_{x}$-based Membrane for X-ray Lithography Mask Application (실리콘 질화막을 이용한 X-ray Lithography마스크용 박막물질의 개발)

  • Lee, Tae-Ho;Jeong, Chang-Yeong;Lee, Gyu-Han;Lee, Seung-Yun;An, Jin-Ho
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.7 no.5
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    • pp.417-422
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    • 1997
  • 본 연구에서는 LPCVD, PECVD, ECR plasma CVD방법을 이용하여 x선 노광 공정용 마스크의 투과막재료로써의 실리콘질화막의 증착과 그의 물성에 관하여 실험하였다. X선 노광 마스크용 투과막의 재질로써 요구되는 적정인장응력에 가지는 증착조건으로 실리콘질화막을 1$\mu\textrm{m}$정도의 두께로 증착하였으며 이 조건에서의 물성을 SIMS, XPS, ESR, AFM, spectrophoto-metry를 이용하여 비교 분석하였다. ECR plasma CVD방법으로 얻은 실리콘 질화막은 화학양론적 조성(Si/N=0.75)에 근접하는 막을 얻을 수 있었으며 표면 평활도와 가시광투과도가 가장 우수한 결과를 얻었다. 저온 증착법인 PECVD로 얻은 막은 Si/N비가 약 0.86정도이고 산소와 수소의 불순물함량이 가장 높게 나타났다. SiH$_{2}$CI$_{2}$를 이용한 LPCVD막의 경우는 Si-rich조성을 가지지만 수소 불순물의 함량이 가장 작게 나타났고 표면거칠기는 가장 나쁘게 나타났다. 그러나 위의 방법으로 얻은 실리콘 질화막의 최대 가시광투과도는 633nm파장에서 모두 90%이상의 값을 나타내었고, 또한 표면 평활도도 0.64-2.6nm(rms)로 현재 연구되고 있는 다른 X선 투과막재료보다 월등히 우수한 결과를 보였다.

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The characteristics of GaP oxide films by $H_2O_2$solution ($H_2O_2$용액에 의한 GaP 산화막의 특성)

  • 송필근;정희준;문동찬;김선태
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • pp.477-480
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    • 1999
  • III-V족 화합물 반도체인 p-CaP의 자연산화막윽 30% $H_2O$$_2$용액 내에서 화학적인 이온반응을 통한 전기분해의 원리를 이용한 양극산화방법으로 형성하여 그 성장률과 광학적성질을 조사하였다. GaP자연산화막의 형성은 산소의 확산과정으로 이루어지며, 양측산화 막의 두께는 산화시간과 인가전압에 대하 여 선형적으로 비례하여 증가하였다. 자연산화막의 표면은 전자현미경으로 산화막의 두게는 파장이 6328$\AA$인 Ellipsometer를 사용하여 측정하였다. 광학적 성질은 적외선 영역에서의 광흡수 특성은 퓨리에 적외선 분광기로 측정하였으며 XRD 로 전압과 시간에 따른 산화막에 조성과 결정면을 알아보았다. 산화막의 형성방법과 형성조건에 따른 GaP 자연산화막의 절연막으로 이용하여 산화막에 조성에 따른 MOS 다이오드로서의 이용 가능성을 조사하였다.

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Preparation and characterization of MFI type Zeolite membranes on porous alumina supports (다공질 알루미나 지지체 위에 코팅한 MFI type제올라이트 분리막의 제조 및 특성 연구)

  • 정상진;김호동;김명훈;김영희;김수룡
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • pp.110-110
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    • 2003
  • 제올라이트는 다양한 유기질 분리의 촉매제 및 광학, 화학 센서, 기체 분리 등의 고기능 소재로서 크게 주목받고 있으며, 그 중 MFI type(ZSM-5, Silicalite-1) 제올라이트는 주로 석유화학공정에 주로 이용되고 있고, 분리막으로서 이산화탄소의 분리/회수 및 물/유기 혼합물의 분리 등에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 본 연구에서는 분리막 제조에 유리할 것으로 판단되어지는 적합한 크기와 형상을 갖춘 나노크기의 제올라이트 분말을 수열합성법과 마이크로웨이브 합성법을 이용하여 합성하였으며, 위의 조건으로 다공질 알루미나 지지 체 위에서 알루미나/제올라이트 분리막 제조를 하는데 성공하였다. 또 한 다양한 조건(시간, 온도, 조성)에 따른 막의 두께변화와 균열발생정도를 관찰한 결과 합성시간, 건조온도에 따라서 같은 조건의 분리막 사이에서도 현격한 차이가 나타남을 알 수 있었다. 얻어진 MFI type제올라이트 분말과 분리막은 XRD, SEM, BET, TGA, FT-IR등의 분석수단을 이용하여 물성평가를 실시하였다.

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Effects of Addition Gases(Hydrogen and Nitrogen Gas) of Diamond-like Carbon Films Deposited by RF PECVD) (RF PECVD로 증착된 다이아몬드상 탄소막의 보조가스 첨가의 영향)

  • Choi, Woon;Kim, Hyoung-June;Nam, Seoung-Eui
    • Korean Journal of Materials Research
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    • v.7 no.1
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    • pp.8-14
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    • 1997
  • DLC막은 여러가지 기술적인 응용에 매우 기대된느 재료이다. 탄화수소 가스의 플라즈마 분해에 의해 증착되는 DLC 막은 높은 경도, 화학적 안정성, 높은 전기 저항성, 적외선 영역의 투과성 등의 여러가지 우수한 성질을 지니고 있다. 그러나 이들막은 높은 내부응력으로 인하여 실제 응용에 상당한 제약을 받고 있다. 본 연구에서는 rf PECVD 법에 의해 합성된 다이아몬드상 탄소막을 보조가스 첨가에 따른 영향에 대하여 조사하였다. 수소가스를 첨가하여 합성된 DLC막의 잔류응력 거동은 낮은 이온 에너지 (V$_{b}$ $P^{1}$2/-20Volt/m Torr)에서 최대 잔류응력이 발생되지만, 질소 가스를 첨가시키면 높은 이온(V$_{b}$ P$_{1}$2/->70Volt/m Torr)에너지 영역에서 잔류응력의 감소가 나타났다. 수소 량이 증가하면 ion bombardment와 식각 작용을 하고, 질소의 경우 막의 표면 스퍼터링 현상이 발생되었다. 보조가스 첨가에 따라 S$P^{3}$net work구조의 생성과 소멸의 결합 구조를 형성하여, 보조가스 첨가는 DLC막의 잔류응력 거동에 영향을 미치는 것을 알 수 있었다. 이온 에너지에 따른막의 비저항은 막 합성 공정 조건에 관계없이 $10^{6}$-$10^{7}$ Ωm 의 범위에서 분포하고 있는 것으로 조사되었다. 이는 메탄가스(rf PECVD)로 합성된 DLC막의 비저항과 거의 일치하는 것으로 나타났다.

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Fire Combustion Characteristics of Membrane Materials According to the Height and Heat Generation Rate (막재료의 설치높이와 발열량에 따른 화재연소특성)

  • Cho, Seung-Ho;Choi, Kwang-Ho;Roh, Young-Sook
    • Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
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    • v.20 no.6
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    • pp.84-90
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    • 2016
  • Various form of membrane structures are being built in recent years. However, there is no appropriate fire proofing standards which can be applied each specific membrane structures. Therefore, existing fire protection standards are in establishment state and they need to be revised. In the current study, commonly used membrane materials(ETFE, PVF, PTFE) has been selected to investigate its fire resistance behavior with the change of fire duration time. In addition to this, heat generation rate of the membrane materials in correlation with the height of membrane has been investigated. And these fire combustion characteristics of membrane materials can be used in future practice for the fire prevention regulations of membrane structures.

A Study On the Separation of Carbon Dioxide Using IS Membranes (용융염 무기막을 이용한 이산화탄소의 분리에 관한 연구)

  • 한건우;김태정;이건홍
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • pp.26-27
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    • 1994
  • 이산화탄소는 지구 온난화를 일으키는 대표적인 온실 기체로 알려져 왔으며 이에 따라 고온의 배가스에서 이산화탄소를 효율적으로 분리해 낼수 있는 기술이 국가 산업적 필요성을 갖게 되었다. 막을 이용한 기체 분리 기술은 낮은 가격, 비교적 간단한 공정상의 잇점 등 때문에 많은 관심을 끌고 있는 분리 기술이며, 특히 무기막은 열적, 화학적 안정성 등의 장점으로 인해 혹독한 조건에의 응용이 가능하다. 본 연구에서는 다공성 지지체에 염을 함침시킨 무기막(Immmobilized Salt Membrane)을 제조하여 기체 분리 특성을 조사하였다.

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UF Separation on the Blend Membrane of PVA-PAN (PVA-PAN 고분자 블렌드 막의 UF 분리 특성)

  • 여호택;남석태;최호상
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • pp.135-136
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    • 1997
  • 1. 서론 : 친수성 고분자와 소수성 고분자를 blend한 것을 막재료로 뛰어난 투과 특성을 가진 고분자막을 개발하기 위하여 제막 및 UF 투과실험을 하였다. 이 blend막은 안정성이 있고, 기계적 강도가 뛰어나기 때문에 인공투석막으로서 상당히 흥미있는 막재료이다. 이런 관점에서 친수성 고분자로서 poly(vinyl-alcohol)[PVA]을 기본재료로 하여, 여기에 각종 소수성 고분자를 blend 시키는 막에 관한 검토가 필요하다.

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Design of Magneto-Optic Spatial Light Modulator Based on One-Dimensional Magneto-Photonic Crystal (1차원 자성 포토닉 결정을 이용한 자기 광학 공간 광 변조기의 설계)

  • 이종백;박재혁;조재경
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • pp.190-191
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    • 2000
  • 종래의 자기광학 디바이스는 자성체막을 빛이 투과할 때 얻어지는 페러데이 회전각을 이용했기 때문에, 페러데이 회전각을 증가시켜서, 광학적 성능을 증가시키려면 자성체막의 두께를 증가시켜야만 했다. 그러나, 자성체막의 두께를 증가시키면, 화소를 자기적으로 분리하기 위하여 자성체 막을 물리적으로 제거 해야하여 깊이가 깊어지고 그 후에 도선막을 구조화하기 위하여 파낸 화소간 갭을 다시 평탄화해야 하는 등의 제조 공정이 기술적으로 매우 어려워진다는 문제점을 가지고 있었다. 또한, 자성체 막의 두께가 증가하면, 도선막에 전류를 흘려 발생하는 자장은 도선막으로부터의 거리의 제곱에 반비례하므로, 두꺼운 자성체 막 전체에 강한 자장을 인가하기 위해서는, 도선막에 흘리는 전류를 증가시켜야만 한다는 문제점을 안고 있었다. (중략)

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폴리아크릴로니트릴 한외여과막의 제조 및 평가

  • 하성룡;구영림;이영무
    • Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
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    • pp.93-94
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    • 1998
  • 1. 서론 : 폴리아크릴로니트릴(PAN)은 폴리술폰에 비해 친수성을 가지고 있어 분리막에 응용시, 오염이 덜 되는 장점을 갖고 있어 폐수처리, 중수도 처리 등의 응용에서 우수한 막재료로 알려져 있다. 또한 기체분리 및 투과증발 복합막 제조시의 지지체로서도 많이 사용되고 있다. PAN을 재료로 다공성 비대칭막을 제조할 때는 상 전환 법을 이용하게 되는데, 이때 막재료로 사용되는 고분자는 용매에 용해시켜 고분자 용액을 제조하여 지지체 위에서 casting한 후, 비용매에 침적시켜 막을 제조하게 된다. 이때 최종 생성되는 막의 형태는 고분자 용액의 농도, 용액내의 용제의 조성, 비용매의 조성등에 의해 영향을 받게 된다. 그러므로 막의 성능은 위의 요소의 조절에 따라 커다란 변화가 이루어진다.

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