• Title, Summary, Keyword: 반응표면모델

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A Generalized Regression Neural Network Plasma Model for Semiconductor Process Optimization (반도체 공정 최적화를 위한 일반화된 회귀 신경망 플라즈마 모델)

  • Park, Sung-Jin;Kim, Byung-Whan
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • pp.2744-2746
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    • 2000
  • 일반화된 회귀 신경망을 이용하여 반도체 공정 최적화를 위한 플라즈마를 모델링한다. 플라즈마는 Box-W린son 실험계획표에 의해 특성화되었으며, 여기에서 변화시킨 인자로는 소스전력, 압력, 척지지대의 위치, 그리고 염소의 유량이다. 총 24회의 실험이 수행이 되었으며, 플라즈마 변수는 Langmuir Probe를 이용하여 측정하였다. 측정된 주요 플라즈마 변수로는 전자밀도, 전자온도, 그리고 플라즈마 전위이다. 폭변수를 점진적으로 증가시켜 회귀신경망을 최적화하였으며. 최적화된 모델은 통계적인 반응표면모델과 비교하였다. 비교 결과, 회귀신경망은 반응표면모델에 상응하는 예측능력을 보이고 있음을 알 수 있었다.

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Development of Prediction Model and Parameter Optimization for Second-Generation Magnetic Abrasive Polishing of Magnesium Alloy (마그네슘 합금강의 제2세대 자기연마에서 표면거칠기 예측모델 개발)

  • Kim, Sang-Oh;Lee, Sung-Ho;Kwak, Jae-Seob
    • Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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    • v.35 no.4
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    • pp.401-407
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    • 2011
  • The conventional method of magnetic abrasive polishing is not suitable for non-magnetic materials because such polishing is basically possible when magnetic force exists and the magnetic force in non-magnetic materials is very low. The installation of an electromagnet under the working area of a non-magnetic material, which is called second-generation magnetic abrasive polishing in this study, can enhance the magnetic force. Experimental evaluation and optimization of process parameters for polishing magnesium alloy steel was performed by adopting the design of experiments and the response surface method. The results indicated that the intensity of the magnetic force and spindle speed are significant parameters that affect the improvement of surface roughness. A prediction model for the surface roughness of the magnesium alloy steel is developed using the second-order response surface method.

The Study of Adsorption and Decomposition Reaction on the Sulfided Mo Single Crystal Surface (황화된 Mo 단결정 표면에서 Furan의 흡착 및 분해반응 연구)

  • ;Philip R. Watson
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.4 no.2
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    • pp.150-155
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    • 1995
  • Mo 단결정 표면에 황을 흡착시켜 형성된 상층구조를 AES와 LEED로써 연구하였다. 황의 피복률은 sulfur gun으로부터 생성되는 S2 flux로써 조절하였으며, 여러 가지 흡착된 황의 상층구조를 LEED로써 관찰하였다. 황화된 Mo 표면에서 탈산소반응(HDO)의 모델 분자로서, Furan의 흡착과 반응을 승온반응분광법(TPRS)으로 조사하였다. 낮은 온도에서 Furan 분자의 헤테로 원자는 직접 이탈하여 안정한 기체상의 반응 생성물인 일산화탄소를 형성하였으며, 이 반응은 Mo의 (100) 및 (110)면에서 각각 깨끗한 표면 및 황화된 표면에 관계없이 일어났다. 이를 바탕으로 Mo 표면에서 Furan의 분해반응에 대한 메카니즘을 제안하였다.

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Surface Chemical Properties of the Youngdong Illite Ore:the pH of Zero Proton Charge and Surface Site Density (영동 일라이트 광석의 표면 화학특성:영 전하점과 표면전하 밀도)

  • 조현구;김은영;정기영
    • Journal of the Mineralogical Society of Korea
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    • v.14 no.1
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    • pp.12-20
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    • 2001
  • 충북 영동군 동창광산에서 산출되는 일라이트(illite)광선의 표면화학특성을 전위차 적정 실험과 FITEQL3.2 프로그램을 이용하여 연구하였다. 정량 Xtjs 회절 분석에 의한 일라이트 광석의 광물조석은 석영 46.6% 일라이트 41.6% 카올리나이트(kaolinite) 11.8%이며 $N_2$BET 방법에 의하여 구한 비표면적은 $6.52 m^2$g이다. 전위차 적정 실험결과를 그란(Gran)법을 적용하여 구한 일라이트광석의 영전하점($pH_{pznpc}$ )은 pH 3.9 총표면 자리 밀도는 21.24 sites/$nm^2$이다. 표면 복합체 모델중 일정 용량 모델을 적용해 일라이트 광석의 표변 특성에 알맞는 모델을 찾아보았다. 일라이트 광석의 표면을 사면체 자리와 팔면체 자리로 나누어 설정한 2sites$-3pK_{ a}$s 모델은 변수값이 수렴되지않았으므로 부적절하다고 판단된다. 일라이트 광석의 표면을 하나의 균질한 흡착표면으로 가정해서 설정한 1 site -1 $K_{a}$ 와 1 site -2 $pK_{a}$ s 모델 사이에는 뚜렷한 차이는 없지만, 1 site -1 $pK_{a}$ 모델의 WSOS/DF 값이 17, 1 site - 2 $pK_a{s}$ 모델은 26으로서 앞 모델이 보다 적절하다. 이 결과는 일라이트 광석 표면에서 수소의 해리와 첨가 반응 중 첨가 반응을 무시하여도 표면반응을 설명하는 데 큰 무리가 없음을 시사한다. 가장 적절하다고 판단되는 1 site -1 $pK_{a}$ 모델의 $pK_{a}$ 값은 4.17, specific capacitance는 $6F/m^2$ 표면 자리 농도는 $1.15\Times10^{-3}$ mol/L 이다.

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A Structural Design Method Using Ensemble Model of RSM and Kriging (반응표면법과 크리깅의 혼합모델을 이용한 구조설계방법)

  • Kim, Nam-Hee;Lee, Kwon-Hee
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.16 no.3
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    • pp.1630-1638
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    • 2015
  • The finite element analysis has become an essential process to investigate the structural performance in many industry fields. In addition, the computer's performance is improving rapidly, but in large design problems, there is a limit to apply the optimal design techniques. For this, it is general to introduce a metamodel based optimization technique. The method to generate an approximate model can be classified into curve fitting and interpolation, and each representative one is response surface model and kriging interpolation method. This study proposes an ensemble model made of RSM and kriging to solve a structural design problem. The suggested method is applied to the designs of two bar and automobile outer tie rod.

Preparation and Reaction Studies of $Pt/Al_2O_3$ Model Catalysts

  • Kim, Chang-Min;Gabor A. Somorjai
    • Journal of the Korean Vacuum Society
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    • v.3 no.4
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    • pp.414-419
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    • 1994
  • Surface of Pt/$Al_2O_3$ model catalyst was produced on an aluminum foil with surface area of 1 $cm^2$ The aluminum surface was oxidized under $10 ^5Torr$Torr oxygen and platinum was deposited on top of the oxide layer using a plasma evaporation source. Conversion of I-butene was performed on the model catalyst surface. Isomerization was the major reaction in I-butene conversion on the aluminum oxide layer. Addition of Pt on the aluminum oxide layer induces hydrogenation of I-butene. Selectivity for the hydrogenation increases as the amount of Pt on alumina increases.

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A Comparative Study on Surrogate Models and Sensitivity Analysis for Structure Design of Automatic Salt Collector Using Orthogonal Array Experiment (직교배열실험을 이용한 자동채염기 구조설계의 민감도해석과 대리모델 비교 연구)

  • Song, Chang Yong;Lee, Dong-Jun
    • Journal of Convergence for Information Technology
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    • v.10 no.7
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    • pp.138-146
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    • 2020
  • The paper deals with comparative study of characteristics of surrogate models and sensitivity evaluation using design of experiments in order to enhance and analysis the structure design of an automatic salt collector under various design load conditions. Orthogonal array design based on numerical analysis was used for the design of experiments. The thickness sizing variables of main structure member were considered the design factors, and the output responses were selected from the strength performances as well as the weight. The quantitative effects on responses for each design factor were evaluated from the orthogonal array experiment. Optimum design case was also identified to improve the strength performances with weight minimization. Using the orthogonal array experiment. various surrogate models such as response surface model, Kriging model, and Chebyshev orthogonal polynomial were generated. The orthogonal array experiment results were validated by the surrogate modeling results. The most suitable surrogate model was the response surface model for the exploration of design space of the automatic salt collector.

Optimization of Turbofan Engine Design Point by using Seven Level Orthogonal Array (7수준 직교배열을 적용한 터보팬 엔진 설계점 최적화)

  • Kim, Myungho;Kim, Youil;Lee, Kwangki;Hwang, Kiyoung;Min, Seongki
    • Journal of the Korean Society of Propulsion Engineers
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    • v.17 no.4
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    • pp.10-15
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    • 2013
  • For design optimization, engineers should require the accurate information of design space and then explore the design space and carry out optimization. Recently, the total design framework, based on design of experiments and optimization, is widely used in industry areas to explore the design space above all. For optimizing turbofan engine design point, the response surface model is constructed by using the 7 level orthogonal array which satisfies the statistical uniformity and orthogonality and gets the dense design space information. The multi-objective genetic algorithm is used to find the optimal solution within the given constraints for finding global optimal one in response surface model. The optimal solution from response surface model is verified with GasTurb simulation result.

A study on chemical vapor deposition process for the proparation of thin SiC films (실리콘 카바이드 박막 제조를 위한 증착 반응연구)

  • 고준호;우성일
    • Electrical & Electronic Materials
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    • v.4 no.4
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    • pp.344-353
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    • 1991
  • 무정형 SiC 박막을 수평형 CVD반응기로부터 SiH$_{4}$ 및 H$_{2}$를 반응기체로 하여 실리콘 웨이퍼위에 증착시켜 제조하였다. 박막 성장 속도는 상압에서 650.deg.C와 850.deg.C범위에서 측정되었다. 반응기체의 유량은 1000sccm으로 고정하였으며 SiH$_{4}$와 CH$_{4}$의 유량을 변화시켰다. 증착 반응속도식으로 표면 반응이 율속단계인 Eley-Rideal 모델과 SiH$_{4}$와 CH$_{4}$의 종도에 m차로 비례하는 두가지 속도식을 가정하였다. 증착시간에 따른 SiC 박막두께의 측정으로부터 얻은 증착 반응 속도로부터 회귀 분석법에 의하여 두가지 반응속도식의 반응속도 상수를 구하였다. 얻어진 반응속도식에 의해서 계산된 값과 실험치를 비교한 결과 0.15차의 반응속도식이 Eley-Rideal반응기구보다 약산 더 잘 맞음을 알 수 있으나 두 모델 다 약간씩 실험결과와 차이가 나고 있다. 이것은 본 실험의 증착 조건의 율속단계가 확산 단계와 표면 반응 단계의 전이영역 즉 본 실험의 증착조건에서 확산속도와 표면 반응속도가 비슷하기 때문으로 생각된다. 또한 Eley-Rideal 반응기구에서 부터 얻어진 SiH$_{4}$ 및 CH$_{4}$의 흡착평형상수 $K_{s}$$K_{c}$ 값을 비교하면 1000K이하에서는 $K_{s}$$K_{c}$ 보다 큰 값을 가지는데 이것은 Gibbs 자유에너지 최소화 방법에서 구한 결과와 일치하였다.

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Torque Ripple Reduction of Surface-mounted Permenent Magnet Synchronous Generator(SPMSG) using Response Surface Method (반응표면법을 이용한 표면부착형 영구자석 동기발전기의 토크 리플 저감설계)

  • Son, Seung-Wan;Shin, Young-Jin;Yoon, Myung-Hwan;Hong, Jung-Pyo
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • pp.800-801
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    • 2015
  • 본 논문에서는 표면부착형 영구자석 동기발전기(SPMSG)의 소음과 진동의 원인이 되는 토크 리플을 저감하고자 하였다. 최적설계법의 하나인 반응표면법을 이용하여 토크 리플을 최소화하는 발전기 형상을 결정하였다. 반응표면법은 통계적인 근사방법으로써 여러 개의 독립변수 또는 설계변수가 복합적으로 작용하여 해석적 모형을 만드는데 매우 유용한 방법이다. 또한 유한요소해석법을 통하여 기존모델과 최적설계모델의 토크 리플을 비교함으로써 성능 개선을 확인하였다.

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