• Title, Summary, Keyword: 전자렌즈

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Study of electrostatic electron lens (정전기 전자 렌즈의 특성연구)

  • 김영철;김대욱;안승준;김호섭
    • Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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    • pp.282-283
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    • 2003
  • 광학 렌즈가 빛의 경로에 영향을 주는 것처럼 전자 렌즈는 전자들의 궤적에 영향을 준다. 광학 렌즈의 효과와 전자 렌즈의 효과는 유사성이 매우 높으며 광학에서 사용하는 용어를 전자광학에서 그대로 쓸 뿐만이 아니라 이미 잘 알려져 있는 광학 렌즈에 대한 원리를 전자렌즈 연구에 활용하고 있다. 이러한 유사성에도 불구하고 빛과 전자 그리고 광학 렌즈와 전자 렌즈 사이에는 근본적으로 다른 점이 있기 때문에 전자 렌즈에 대한 체계적인 연구가 요구되고 있다. (중략)

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Electron Beam Properties of Microcolumn Based on the Structure of Electrostatic Lens Apertures (전자 렌즈 Aperture 구조에 따른 마이크로칼럼의 전자빔 특성)

  • Choi, Sang-Kuk;Yi, Cheon-Hee
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.16 no.5
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    • pp.428-432
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    • 2005
  • Microlens precisely fabricated by MEMS process, is a key component of the Microcolumn, Since, miniaturization can reduces aberrations, microcolumn is expected to have better performance than conventional columns. Depending on the fabrication techniques, the sectional view of micro lens has different shape. In the paper, the effect of the sectional shape of extractor lens and limiting aperture on the focusing property of microcolumns have been studied.

Characteristics of Polymer GRIN Lenses for Optical Communications and Their Preparations (광 통신용 고분자 GRIN 렌즈의 특성 및 제작 방법)

  • Jung, S.-D.;Song, S.H.
    • Electronics and Telecommunications Trends
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    • v.9 no.1
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    • pp.65-74
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    • 1994
  • 광 통신 분야에 응용되는 GRIN 렌즈의 사양을 통해서 고분자 GRIN 렌즈의 응용 가능성과 장점 등을 살펴보기 위하여 GRIN 렌즈의 특성과 GRIN 렌즈의 광통신 분야에의 응용성, 고분자 GRIN 렌즈 제작방법 등을 검토하였다. 이로부터 고분자 GRIN 렌즈는 제작 방법과 제작 공정 변수의 다양성으로 인하여 다양한 형태의 GRIN렌즈 제작과 굴절률 분포 제어에 있어서 장점이 있음을 확인하였다. 특히, 구형 고분자 GRIN 렌즈는 수 구경이 크고 수차가 적을 뿐만 아니라 제작 방법이 간단하기 때문에 광원과 광섬유간의 접속에 매우 유용할 것으로 판단되었다.

Fabrication of Microlenses by X-ray Lithography (X-선 사진식각공정을 이용한 마이크로렌즈의 제작)

  • Jung, S.W.;Park, K.B.;Kim, K.N.;Lee, B.N.;Kim, I.H.;Moon, H.C.;Park, H.D.;Hong, S.J.;Park, S.S.;Shin, S.M.
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • pp.1164-1166
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    • 1999
  • 본 연구에서는 3차원 회전체 구조물을 제조하기 위해 회전노광장치를 설계하여 제작하고 마이크로렌즈 제작용 X-선 마스크와 PMMA 기판을 정밀하게 회전시켜 노광함으로써 3차원의 마이크로렌즈를 제작하였다. 제작된 마이크로렌즈의 크기는 직경이 $50{\sim}700{\mu}m$이었고, 또한 이러한 방법으로 원통형 렌즈, 계란형 렌즈 등을 제작함으로써 X-선 사진식각공정으로 정밀도가 높은 다양한 3차원의 회전체 구조물을 제조하는 방법을 제시하였다.

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Electrowetting-based liquid lens fabricated by MEMS technology (일렉트로웨팅구동형 MEMS기반 액체렌즈)

  • Lee, June-Kyoo;Park, Kyung-Woo;Kang, Hyun-Oh;Kim, Jae-Kun;Kim, Hak-Rin;Kong, Seong-Ho
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • pp.1537_1538
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    • 2009
  • 기존의 초소형 렌즈모듈들은 초점 거리 가변을 위한 구동장치가 필요하여 소형화 한계, 큰 전력소모, 부품의 기계적 결함 등 해결해야 할 부가적인 문제점들이 존재하였다. 액체렌즈는 이러한 문제를 해결할 수 있는 유력한 기술로 주목받고 있으며, 특히 부가적인 구동 장치가 필요없고 비교적 간단한 원리로 렌즈 곡률을 조절할 수 있는 일렉트로웨팅 기반의 액체렌즈는 초점 거리 조절 및 줌 조절이 필요한 휴대폰, 캡슐 내시경 등에 적용이 가능하다. 그러나 기존의 일렉트로웨팅 기반의 액체렌즈는 렌즈 캐비티의 크기에서 큰 단점이 있으며, 렌즈모듈구성 시에도 소형화하는데 한계가 존재하였다. 본 연구에서는 렌즈 캐비티를 MEMS 기술을 이용하여 실리콘 기판 상에 제작함으로써 구동회로의 집적이 가능한 액체렌즈를 제작하였다.

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Prism lens design for Eye Glass Display to create virtual display (가상 디스플레이 구현을 위한 Eye Glass Display용 프리즘 렌즈 설계)

  • Kim, Tae-Ha;Mun, Hyeon-Chan;Park, Gwang-Beom;Choe, Seong-Ho;Han, Jin-U;Park, Yeong-Su;Kim, Hwi-Un
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • pp.68-69
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    • 2006
  • Eye Glass Display(EGD)의 광학계를 소형, 경량화 하기 위하여 OLED 마이크로 패널과 프리즘 렌즈를 사용하여 설계하였다. 광학계 설계에 사용된 OLED 마이크로 패널은 0.59"크기의 SVGA($800{\times}600$)급이며, 크기는 0.59"이며, 렌즈는 프리즘 렌즈로 설계되었다. 설계된 프리즘 렌즈는 3연으로 구성되었으며, 각 면은 각각 비회전대칭 비구면으로 tilt와 decenter를 사용하여 광학적 성능을 향상시켰다. 설계된 프리즘 렌즈의 화각(FOV)은 $28^{\circ}$, 왜곡수차는 4% 이내이며, 광학계의 해상도를 나타내는 MTF는 공간주파수 30lp/mm에서 full field가 40%이상의 성능을 나타내었다.

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PDMS Microlens Fabrication by Electrohydrodynamic Atomization (전기유체분사를 이용한 PDMS 마이크로렌즈 제작)

  • Kang, Tae-Ho;Yang, Sang-Sik
    • Proceedings of the KIEE Conference
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    • pp.1478-1479
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    • 2008
  • 본 논문에서는 PDMS 프레폴리머의 전기유체분사를 이용하여 마이크로렌즈를 제작했다. 전기유체분사 시스템에서 인가전압과 기판 온도의 두 가지 변수를 변화시키면서 제작한 PDMS 마이크로렌즈의 특징을 파악하였으며, 인가전압이 증가함에 따라 마이크로렌즈의 직경이 작아지고, 기판 온도가 증가함에 따라 마이크로렌즈의 직경이 작아지고 접촉각이 커지는 것을 확인하였다. 제작된 PDMS 마이크로렌즈의 특성을 평가하기 위하여 가우시안 빔 투과 실험을 하였다. 측정된 초점거리는 계산된 초점거리와 5 mm 차이가 났으며, 렌즈를 투과된 가우시안 빔은 초점에서 최대의 파워밀도와 최소의 유효반경을 가지는 것으로 측정되었다.

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Research on the electron-beam characteristics according to the shape of electron lenses in low-energy microcolumn using Monte Carlo numerical analysis (Monte Carlo 수치해석법을 이용한 저 에너지 초소형 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈의 모양에 따른 전자빔 특성 연구)

  • Kim, Young-Chul;Kim, Ho-Seob;Kim, Dae-Wook;Ahn, Seung-Joon
    • Journal of the Korea Academia-Industrial cooperation Society
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    • v.9 no.1
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    • pp.23-28
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    • 2008
  • Due to the modem MEMS technologies, the electron lenses that are used in the microcolumn can have much smaller optical aberrations compared with conventional electron lenses for the bulky electron columns. Since the electron lens system have great effect on the performance of the microcolumn, it is important to study the dependence of image quality on the configuration of the electronic imaging system, among which the source-lens part is most sensitive. In this work, we investigated the electron beam characteristics according to the shapes of extractor and limiting aperture that are elements of the source-lens part. By analyzing the data obtained, we proposed the optimum configuration of the electron lens system.

Optical design of LED line lens for street lighting (가로등 배광을 가지는 LED 전용 선형렌즈의 개발)

  • Jung, Seung-Gyun;Lee, Chang-Mo;Seok, Dae-Il;Lee, Sang-Jin;Kim, Hoon
    • Proceedings of the Korean Institute of IIIuminating and Electrical Installation Engineers Conference
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    • pp.85-88
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    • 2007
  • 현재 LED 전용의 렌즈로서 개발되어 있는 제품들은 대부분이 매우 좁은 빔각을 가지는 집광렌즈이지만 이를 사용하여 다양한 조명기구의 배광을 달성하기는 불가능하다. 본 논문에서는 가로등 형 배광을 가지는 대칭형, 비대칭형 배광을 가지는 선형 렌즈의 설계를 진행하고 그 성능을 시뮬레이션 하였다.

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Optical Assembly and Fabrication of a Micro-electron Column (마이크로 전자렌즈의 광학적 정렬과 조립)

  • Park, Jong-Seon;Jang, Won-Kweon;Kim, Ho-Seob
    • Korean Journal of Optics and Photonics
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    • v.17 no.4
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    • pp.354-358
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    • 2006
  • A silicon lens and an insulator of pyrex, components of a micro-electron column, should be assembled by aligning and stacking simultaneously. An optical alignment of a diffraction beam and a laser welding were employed for the assembly of a source lens and an Einzel lens with precision within $\pm$4% for the maximum aperture size. The experimental condition for optical alignment and laser welding are explained. Anodic bonding was used to assist in stacking lenses. A micro-electron column of smaller apertures assembled with precise alignment and fabrication was tested with a current image of a Cu grid of 9$\mu$m in linewidth, and showed a higher resolution in acceleration mode.