대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1987년도 전기.전자공학 학술대회 논문집(I)
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- Pages.450-453
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- 1987
PECVD ammonia-free SiN 막의 계면상태
Interface state density of PECVD ammonia-free SiN
- Oh, Jae-Ha (Korea University) ;
- Park, Young-Woo (Korea University) ;
- Sung, Young-Kwon (Korea University)
- 발행 : 1987.07.03