Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)
- 1987.11a
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- Pages.197-199
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- 1987
The Characteristics of Photoresist using Inorganic $a-Se_{75}Ge_{25}$
무기질 $a-Se_{75}Ge_{25}$ 을 이용한 포토레지스트의 특성
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Chung, Hong-Bay
(Kwang Woon Univ., Electronic Material Eng. Dep.)
;
- Huh, Hun (Kwang Woon Univ., Electronic Material Eng. Dep.) ;
- Kim, Tae-Wan (wang Woon Univ., Electronic Material Eng. Dep.) ;
- Hoon, Hyuk (Kwang Woon Univ., Electronic Material Eng. Dep.) ;
- Song, Joon-Suk (Kwang Woon Univ., Electronic Material Eng. Dep.) ;
- Kim, Jong-Been (Josun Univ. Electronic Dep.)
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정홍배
(광운대학 전지재료공학과)
;
- 허훈 (광운대학 전지재료공학과) ;
- 김태완 (광운대학 전지재료공학과) ;
- 문혁 (광운대학 전지재료공학과) ;
- 송준석 (광운대학 전지재료공학과) ;
- 김종빈 (조선대학교 전자공학과)
- Published : 1987.11.20
Abstract
This paper is investigated on characteristics of photoresist using inorganic a-
Keywords