Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

건식식각시 플라즈마의 작용으로 인해 챔버 구성물질로부터 오염된 알루미늄의 제거

  • 이수민 (한국전자통신연구소, 단위공정개발실) ;
  • 곽병화 (한국전자통신연구소, 물성분석연구실) ;
  • 권광호 (한국전자통신연구소, 단위공정개발실) ;
  • 권오준 (한국전자통신연구소, 물성분석연구실) ;
  • 김보우 (한국전자통신연구소, 단위공정개발실)
  • Published : 1992.07.01
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