한국전자현미경학회:학술대회논문집

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
권호 표지

$TiSi_2$ 형성시 주입 이온의 재분포 연구

  • 김상영 (현대전자산업(주) 반도체 연구소) ;
  • 조윤성 (현대전자산업(주) 반도체 사업부) ;
  • 백종성 (현대전자산업(주) 반도체 연구소) ;
  • 고철기 (현대전자산업(주) 반도체 연구소)
  • Published : 1992.05.01
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