Proceedings of the Acoustical Society of Korea Conference (한국음향학회:학술대회논문집)
- 1993.06a
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- Pages.29-33
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- 1993
Detection of The Photoacoustic Signal Generated by Irradiation of KrF Excimer Laser in Metals
KrF엑시머레이저 조사에 의한 금속에서의 광-음향신호의 검출
Abstract
펄스레이저를 고체표면에 조사하면 광-음향효과에 의해 입사지점에서 음향파원이 형성되고 음향파원의 형태와 재료의 특성에 따라 여러 유형의 종파, 횡파 및 표면파의 음향에너지가 발생된다. 본 연구에서는 열탄성영역과 플라스마영역에서 종파와 횡파의 변위파형을 해석하여 모의실험을 수행하였다. 실험에서는 KrF엑시머레이저를 탄소강, 알루미늄, 황동에 조사하여 플라스마영역에서의 광-음향신호를 검출하였으며 이론과 비교하여 분석하였다.
Keywords