Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

상압 CVD를 이용한 a-Si TFT의 수소화 영향

  • 김동길 ((주) 금성사 안양 연구소) ;
  • 김정현 ((주) 금성사 안양 연구소) ;
  • 안병철 ((주) 금성사 안양 연구소)
  • Published : 1993.07.01
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Abstract

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