Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

The Effects of Interconnection Geometry on the Electromigration in Al-1%Si Thin Film Metallizations

Al-1%Si 박막금속화의 Electromigration에 대한 Interconnection Geometry 효과

  • 조형원 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김대일 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김진영 (광운대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1993.07.01
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