이탈방위각을 갖는 GaAs 기판에서 성장된 AlxGa1-xAs층의 DCXRD에 의한 Al 조성의 해석

  • 백종협 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 윤미영 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 이번 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 김상기 (한국전자통신연구소 물성분석연구실)
  • Published : 1993.07.01