In$_x$Ga$_{1-x}$As/GaAs 격자 부정합층의 MOCVD 성장에서 표면의 빗살 무늬 형상의 전개

  • 윤미영 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부) ;
  • 박효훈 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부) ;
  • 백종협 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부) ;
  • 이번 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부) ;
  • 이성수 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부) ;
  • 이일항 (한국전자통신연구소, 기초기술연구부)
  • Published : 1993.07.01