Effects of Wet Oxidation on the Nitride with and without Annealing

열처리 전후의 질화막에 대한 습식산화의 효과

  • 윤병문 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1993.05.01