Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1993.05a
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Pages.71-71
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1993

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Characterization of PECVD Silicon Nitride on GaAs substrate

GaAs 기판위에 PECVD로 증착된 Silicon Nitride의 특성분석

서경수 (한국전자통신연구소) ;
최성우 (한국전자통신연구소) ;
곽병화 (한국전자통신연구소) ;
조경익 (한국전자통신연구소)

Published : 1993.05.01

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Abstract

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