Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1993.05a
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- Pages.132-132
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- 1993
Effect of RTA on Electrical Properties of $Ta_{2}O_{5}$ Thin Film deposited by PECVD
PECVD 법으로 형성된 $Ta_{2}O_{5}$ 유전박막의 전기적 특성에 미치는 급속 후속 열처리의 영향
Abstract
Keywords