Electrical Properties Pb(Zr, Ti)$O_3$ Thin Films by Reactive Sputtering

Reactive sputtering법으로 증착한 Pb(Zr, Ti)$O_3$ 박막의 전기적 성질에 관한 연구

  • 조능호 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원무기재료공학과)
  • Published : 1994.05.01