대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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- Pages.1133-1136
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- 1995
RF-magnetron sputtering 방법으로 제조한 $BaTa_2O_6$ 박막의 특성과 응용에 관한 연구
Study on the characteristics and application of the $BaTa_2O_6$ films prepared by rf-magnetron sputtering technique
- 남태성 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 송만호 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 이윤희 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 한택상 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 오명환 (한국과학기술연구원 정보전자연구부) ;
- 정관수 (경희대학교 전자공학과)
- Nam, Tae-Sung (KIST) ;
- Song, Man-Ho (KIST) ;
- Lee, Yun-Hi (KIST) ;
- Hahn, Taek-Sang (KIST) ;
- Oh, Myung-Hwan (KIST) ;
- Jung, Kwan-Soo (Kyunghee University)
- 발행 : 1995.07.20
초록
RF-magnetron sputtering 방법으로 형성한
키워드