Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO: Al 투명도전막의 특성

  • 박기철 (경상대학교 전자재료공학과) ;
  • 이형기 (경상대학교 전기공학과) ;
  • 마대영 (경상대학교 전기공학과) ;
  • 김건호 (경상대학교 물리학과)
  • Published : 1995.02.01
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