Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Properties of Cu films on Glass Prepared by ICB Deposition Method

ICB(Ionized Cluster Beam)방법으로 제작된 Glass 기판위의 구리 박막의 특성

  • 윤영수 (한국과학기술연구원, 세라믹스연구부) ;
  • 이지연 (한국과학기술연구원, 세라믹스연구부) ;
  • 최원국 (한국과학기술연구원, 세라믹스연구부) ;
  • 고석근 (한국과학기술연구원, 세라믹스연구부) ;
  • 정형진 (한국과학기술연구원, 세라믹스연구부) ;
  • 이규왕 (명지대 화학과) ;
  • 박성진 (명지대 화학과)
  • Published : 1995.02.01
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Abstract

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