고밀도 Helicon Plasma를 이용한 저유전율의 SiOF박막 증착 연구

  • 김정형 (한국과학기술원 물리학과 플라즈마실험실 대전 305-701) ;
  • 서상훈 (윤석민, 장홍영)
  • 발행 : 1995.06.01