Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

단일 선구 물질을 이용한 탄화규소 막의 적층 성장

  • 유규상 (한국화학연구소 무기소재연구부 박막재료팀) ;
  • 이경원 (한국화학연구소 무기소재연구부 박막재료팀) ;
  • 김윤수 (한국화학연구소 무기소재연구부 박막재료팀)
  • Published : 1996.02.01
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