표면처리된 Inp(100) 기판위에 MOCVD법으로 성장된 $TiO_2$ 박막의 물성

  • 손맹호 (경기대학교 물리학과) ;
  • 김은규 (한국과학기술연구원 반도체재료연구센터) ;
  • 민석기 (한국과학기술연구원 반도체재료연구센터) ;
  • 한영기 (한국과학기술연구원 정보전자연구부)
  • Published : 1996.02.01