한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

ZnO-based TCO와 ITO의 수소 플라즈마 노출에 대한 내구성

  • 임원택 (한양대학교 물리학과 반도체 물리학 연구실) ;
  • 이상기 (한양대학교 물리학과 반도체 물리학 연구실) ;
  • 김용주 (한양대학교 물리학과 반도체 물리학 연구실) ;
  • 이병준 (한양대학교 물리학과 반도체 물리학 연구실) ;
  • 안유신 (한양대학교 물리학과 반도체 물리학 연구실) ;
  • 안일신 (한양대학교 물리학 과 반도체 물리학 연구실) ;
  • 이창효 (한양대학교 물리학과 반도체 물리학 연구실)
  • 발행 : 1996.06.01
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