Selective wet etching of a GaAs/$Al_xGa_{1-x}$As heterostructure with citric acid- hydrogen pperoxide solution

• 문은아 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
• 김이태 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
• 이종람 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
• 김해천 (한국전자통신연구소 화합물반도체연구부) ;
• 이재진 (한국전자통신연구소 화합물반도체연구부)

• 발행 : 1997.02.01

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