Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

TiSi gate 및 텅스텐 B/L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발

  • 이석민 (삼성전자 반도체 연구소 MU 기술개발그룹) ;
  • 김명진 (삼성전자 반도체 연구소 MU 기술개발그룹) ;
  • 김석식 (삼성전자 반도체 연구소 MU 기술개발그룹)
  • Published : 1997.02.01
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