질소 이온에 의한 Si(111)-7$\times$7 표면의 초기 질화 반응의 STM 연구 : 표면 원자 구조와 반응성

  • 하정숙 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 박강호 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 윤완수 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 이일항 (한국전자통신연구소 기초기술연구부) ;
  • 박성주 (광주과학기술원 신소재공학과)
  • 발행 : 1997.02.01