한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Anisotropic Poly-Silicon Etch With $Cl_2/CH_3Br$

  • 이휘건 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 이재봉 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 윤석훈 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 김충환 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹) ;
  • 곽규환 (삼성 반도체 생산기술 2팀 공정기술 1그룹)
  • 발행 : 1997.02.01
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