두 개의 증발원을 이용한 이온플레이팅법에 의해 제조된 (Ti$_{1-x}Al_x$)N 박막의 증착속도와 Al의 양이 박막의 구조 및 기계적 성질에 미치는 영향

• 이인행 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
• 이정중 (서울대학교 공과대학 금속공학과)

• 발행 : 1997.02.01

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