Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

InP(100) 기판 위에 MOCVD로 성장한 InAs Island의 Morphology 분석

  • 윤석호 (서울대학교 재료공학부, 반도체재료 및 공정실험실) ;
  • 문영부 (서울대학교 재료공학부, 반도체재료 및 공정실험실) ;
  • 이태완 (서울대학교 재료공학부, 반도체재료 및 공정실험실) ;
  • 윤의준 (서울대학교 재료공학부, 반도체재료 및 공정실험실)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

Keywords