Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

DC Bias를 인가하여 HFCVD 방법으로 증착한 다이아몬드 박막의 특성

  • 권민철 (동아대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 안수연 (동아대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 장지선 (동아대학교 자연과학대학 물리학과) ;
  • 박흥준 (동아대학교 자연과학대학 물리학과)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

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