Si 기판위에 ICB법에 의해 적층 성장된 yttrium oxide 박막의 결정성에 대한 BS/Channeling 연구

• 조만호 (연세대학교 물리학과) ;
• 김효배 (연세대학교 물리학과) ;
• 황보상우 (연세대학교 물리학과) ;
• 황정남 (연세대학교 물리학과) ;
• 최성창 (한국과학기술연구원) ;
• 최원국 (한국과학기술연구원) ;
• 송종한 (한국과학기술연구원)

• Published : 1997.07.01

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