Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Shallow trench 식각 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거동향 연구

  • 이영준 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 황순원 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 김현수 (성균관대학교 재료공학과) ;
  • 이주욱 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이정용 (한국과학기술원 전자재료공학과 6a 염근영)
  • Published : 1997.07.01
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Abstract

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