$RuO_2$ 박막과 $RuO_2/Ru$ 박막의 산소 분위기 열처리시 열적 안정성 연구

  • 오상호 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬로 (포항공과대학교 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학교 재료금속공학과)
  • Published : 1997.11.01