한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

수직형 반응기를 이용한 InP/GaAs, InGaAs/GaAs 기판퓨젼

  • 황성민 (한국과학기술연구원 정보전자연구부 반도체 재료 연구실) ;
  • 최창학 (고려대학교 재료공학과) ;
  • 김용 (한국과학기술연구원 정보전자연구부 반도체 재료 연구실) ;
  • 김은규 (한국과학기술연구원 정보전자연구부 반도체 재료 연구실) ;
  • 남산 (고려대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1998.06.01
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