Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the crack formation of PZT thin film during RTA

RTA 처리에 의해 결정화된 PZT박막의 Crack 발생에 대한 연구

  • 강희수 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1998.05.01
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Abstract

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