Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Effects of Deposition Conditions of Pt Top Electrodes on Pt/PZT/Pt Capacitors

Pt 상부 전극 증착 조건이 Pt/PZT/Pt Capacitor의 전기적 특성에 미치는 영향

  • 이강운 (한국과학기술원 재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 재료공학과)
  • Published : 1998.05.01
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