Preparation and Electrical Properties of $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Films Deposited by MOCVD using a single solid source mixture

고체 유기금속원료 혼합 전달 MOCVD법을 이용한 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 박막의 증착 및 전기적 특성

  • Published : 1998.05.01