Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A Study on the Defects Induced by $P^{+}$ Buried Layer Formation Using MeV Ion Implantation

MeV 이온주입에 의한 $P^{+}$ Buried Layer 형성시 발생하는 결함에 관한 연구

  • 유승한 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 장윤택 (홍익대학교 금속.재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속.재료공학과)
  • Published : 1998.05.01
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Abstract

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