Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1999.02a
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Pages.32-32
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1999

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

ECR pplasma Depposition Sysem의 제작과 특성 및 pplasma와 Diagnosis

손영호 (영남대학교) ;
배인호 (영남대학교) ;
박형국 (포항산업과학연구원) ;
박노길 (포항산업과학연구원) ;
손민규 (포항산업과학연구원) ;
정재인 (포항산업과학연구원) ;
김인수 (경운대학교) ;
황도원

Published : 1999.02.01

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Abstract

Keywords